使用X射線直接照射試樣，測定由此產(chǎn)生的2次X射線（X射線熒光）的能量強度。法可無須破壞樣品進行樣品定性分析和定量分析。與其他分析方法相比，前處理簡單，可快速分析，這是X射線熒光分析的一大特長。

       雖然在波長（能量）分辨率、輕元素的靈敏度、精度上不如波長色散型，但在價格、操作性、前處理的簡單便性上具有優(yōu)勢。因此，非常適于進貨檢查、生產(chǎn)現(xiàn)場的篩選分析和次品解析。